特許

J-GLOBAL ID：200903003702706844

感光性エレメント、レジストパターンの製造法及びプリント配線板の製造法

発明者： 木村 伯世 ,  田中 庸司 ,  正岡 和隆 ,  工藤 孝文 ,  吉田 哲男 ,  南平 幸彦
出願人/特許権者： 日立化成工業株式会社
代理人 (1件)： 若林 邦彦
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平11-364329
公開番号（公開出願番号）：特開2001-183823
出願日： 1999年12月22日
公開日（公表日）： 2001年07月06日
要約：

【要約】 (修正有)【課題】 生産コストを上昇させずにラミネートすべき対象の表面の凹凸に転移層が良好に追従し、解像性を向上でき、かつエアーボイドの発生数を低減し、レジストパターンの形状が優れ、プリント配線板の製造歩留まりを大幅に向上することができる感光性エレメントレジストパターンの製造法、プリント配線板の製造法を提供する。【解決手段】 第1のフィルム上に感光性樹脂組成物層を有し、さらに前記感光性樹脂組成物層の第1のフィルムとは反対側の面に第2のフィルムを有する感光性エレメントにおいて、前記第1のフィルムの80°Cにおける単位幅あたりの5%伸び荷重(フィルム長手方向の値とし以下L5値と称する)が3.92×10-2〜8.83×10-1N/mm(4〜90g/mm)であり、かつ前記第2のフィルム中に含まれる直径80μm以上のフィッシュアイ個数が10個/m2以下である感光性エレメント。

請求項（抜粋）：

第1のフィルム上に感光性樹脂組成物層を有し、さらに前記感光性樹脂組成物層の第1のフィルムとは反対側の面に第2のフィルムを有する感光性エレメントにおいて、前記第1のフィルムの80°Cにおける単位幅あたりの5%伸び荷重(フィルム長手方向の値とし以下L5値と称する)が3.92×10-2〜8.83×10-1N/mm(4〜90g/mm)であり、かつ前記第2のフィルム中に含まれる直径80μm以上のフィッシュアイ個数が10個/m2以下である感光性エレメント。

IPC (8件)：

G03F 7/004 512 ,  G03F 7/027 502 ,  G03F 7/028 ,  G03F 7/033 ,  G03F 7/09 501 ,  G03F 7/11 501 ,  H05K 3/06 ,  H05K 3/18

FI (8件)：

G03F 7/004 512 ,  G03F 7/027 502 ,  G03F 7/028 ,  G03F 7/033 ,  G03F 7/09 501 ,  G03F 7/11 501 ,  H05K 3/06 J ,  H05K 3/18 D