特許

J-GLOBAL ID：200903003704279846

走査型荷電粒子ビーム装置における試料像観察方法

発明者： 山田 篤 ,  根岸 勉 ,  小林 利治 ,  渡部 紀夫
出願人/特許権者： 日本電子株式会社
代理人 (1件)： 井島 藤治 (外1名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平11-204266
公開番号（公開出願番号）：特開2001-035433
出願日： 1999年07月19日
公開日（公表日）： 2001年02月09日
要約：

【要約】【課題】 機械的な回転中心と画像中心が一致していない場合にも、回転によって像の逃げが生じない走査型荷電粒子ビーム装置における試料像観察方法を実現する。【解決手段】 機械的な回転中心と画像中心が一致していない場合に機械的な回転を行っても、常に像の中心位置は変化しないように動作させる。このためには、機械的なステージの回転を行った場合、Xステージを駆動してけX方向に移動させ、Yステージを駆動してY方向にステージを移動させる。更に、機械的な回転中心と観察画像中心との間の距離LとX,Yステージの移動速度をリンクさせ、距離Lの値にかかわらず、観察画面上での回転速度を一定に見えるようにする。実際には、Lの値が大きくなるほどX,Yステージの移動速度を早く制御する。

請求項（抜粋）：

機械的なX-Y移動、回転ができるステージ上の試料に荷電粒子ビームを照射すると共に、試料上で荷電粒子ビームを2次元的に走査し、試料への荷電粒子ビームの照射によって得られた信号に基づき試料の走査像を表示するようにした走査型荷電粒子ビーム装置において、回転ステージを回転させる場合、観察像の中心位置と機械的な回転中心との間の距離Lと回転角度に応じてX-Yステージを移動させると共に、距離Lの長さに応じてX-Yステージの移動速度を制御し、機械的な回転により常に像が観察画面の中心で回転するようにした走査型荷電粒子ビーム装置における試料像観察方法。

IPC (2件)：

H01J 37/20 ,  H01J 37/22 502

FI (2件)：

H01J 37/20 D ,  H01J 37/22 502 C

Fターム (5件)：

5C001AA03 ,  5C001AA04 ,  5C001AA05 ,  5C001AA06 ,  5C001CC04

引用特許：

審査官引用 (4件)

• 特開昭63-076251
  
• 画像検査装置
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平10-001356   出願人：株式会社ニコン
• 透過形電子顕微鏡
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平9-183457   出願人：株式会社日立製作所, 日立計測エンジニアリング株式会社
• 特開平3-040355