特許

J-GLOBAL ID：200903003706099748

誘導結合プラズマ発生装置

発明者： 飛田 貴光 ,  西垂水 剛
出願人/特許権者： 株式会社日立製作所
代理人 (1件)： 作田 康夫
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平11-372680
公開番号（公開出願番号）：特開2001-183297
出願日： 1999年12月28日
公開日（公表日）： 2001年07月06日
要約：

【要約】 (修正有)【課題】安価で出力電圧が低いイグナイタでも確実にプラズマ点火が可能な誘導結合プラズマ発生装置を提供する。【解決手段】高周波発生部1,トーチ管3,出力コイル2,イグナイタ5,イグナイタ5からの電圧が印加される高電圧側電極6を備えた誘導結合プラズマ発生装置において、前記高電圧側電極6の形状を板状にする。【効果】電極を薄い板状にすることで、複数の放電が起き、初期電子数が多くなったため、安価で出力電圧が低いイグナイタでも確実に点火し、誘導結合プラズマを生成できる。

請求項（抜粋）：

高周波電力を発生する高周波発生部,ガスを流すトーチ管、当該トーチ管の周囲に配置される出力コイル,放電するための電圧を発生するイグナイタ、当該イグナイタからの電圧が印加される高電圧側電極を備えた誘導結合プラズマ発生装置において、前記高電圧側電極の形状を板状にしたことを特徴とする誘導結合プラズマ発生装置。

IPC (3件)：

G01N 21/73 ,  G01N 27/62 ,  H05H 1/26

FI (3件)：

G01N 21/73 ,  G01N 27/62 G ,  H05H 1/26

Fターム (4件)：

2G043EA08 ,  2G043GA10 ,  2G043GB05 ,  2G043MA11