特許

J-GLOBAL ID：200903003707395812

ポジ型感光性組成物

発明者： 山中 司 ,  青合 利明 ,  上西 一也 ,  近藤 俊一 ,  小久保 忠嘉
出願人/特許権者： 富士写真フイルム株式会社
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平3-311328
公開番号（公開出願番号）：特開平5-127370
出願日： 1991年10月31日
公開日（公表日）： 1993年05月25日
要約：

【要約】【目的】 露光後のベークによる膜収縮が少なく、良好なプロファイルと高解像力を有するポジ型の化学増幅系感光性組成物を提供する。【構成】 ポジ型感光性組成物が、アルカリ可溶性樹脂、光酸発生剤及び下記一般式(a)で表される化合物とを含む。【化1】

請求項（抜粋）：

アルカリ可溶性樹脂、光酸発生剤及び下記一般式(a)で表される化合物とを含むことを特徴とするポジ型感光性組成物。【化1】ここで、R1〜R13:同一でも異なっていても良く、水素原子,アルキル基,アルコキシ基,アシル基,アシロキシ基,アリール基,アリールオキシ基,アラルキル基,アラルキルオキシ基,複素環アリール基,ヒドロキシ基,カルボキシル基,ハロゲン原子,ニトロ基,もしくはシアノ基、X:-CO-もしくは-SO2-、A:アリール基、を表す。

IPC (4件)：

G03F 7/004 503 ,  G03F 7/029 ,  G03F 7/039 501 ,  H01L 21/027