特許
J-GLOBAL ID：200903003717073899
精密部品の外観検査装置及びその方法
発明者：
出願人/特許権者：
,
代理人 (1件)：
羽鳥 亘
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平4-057684
公開番号（公開出願番号）：特開平6-034332
出願日： 1992年03月16日
公開日（公表日）： 1994年02月08日
要約：
【要約】【目的】 TABなどの電子精密部品の断線、短絡、曲がり、欠如等を高速かつ正確に検査することができる検査装置および検査方法を提供する。【構成】 発光時間幅が4〜7μsの閃光を発する閃光源と、該閃光を受光することにより被検査精密部品を撮像する固体撮像素子カメラと、該固体撮像素子カメラからの電気信号を入力し画像処理を行う画像処理装置と、を有する外観検査装置は、通常の機械的なシャッターでは1万分の1秒が限界であるに対して、その14倍から25倍ものシャッター速度が得られたのと同じこととなり、従来TABテープの各検査部位を撮像するたびに一端固体撮像素子カメラを停止させて撮像する必要があったものが、固体撮像素子カメラの移動が停止されることなく連続的に行われても、静止画像入力が高測定分解能を伴って行われることとなって検査に要する時間が大幅に短縮された。
請求項（抜粋）：
閃光を発する閃光源と、該閃光を受光することにより被検査精密部品を撮像する固体撮像素子カメラと、該固体撮像素子カメラからの電気信号を入力し画像処理を行う画像処理装置と、を有することを特徴とする精密部品の外観検査装置。
IPC (5件)：
G01B 11/24
, G01N 21/88
, G06F 15/62 405
, H01L 21/66
, H04N 7/18
