特許
J-GLOBAL ID：200903003724002182
成膜装置と成膜方法
発明者：
,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
松永 孝義
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2000-010815
公開番号（公開出願番号）：特開2001-200357
出願日： 2000年01月19日
公開日（公表日）： 2001年07月24日
要約：
【要約】 (修正有)【課題】 コンパクトな光学部品を作製する成膜方法とその装置を提供すること。【解決手段】 一つの縦方向の回転軸10の中心部に回転可能に基体4を内筒体12に配置し、該基体4の表面4aに対向する外筒体13の内側に前記一対のターゲット2A、2B(2Bは2Aの下側にある)を縦方向に直列配置したターゲットユニットを複数列、外筒体13の内壁の円周方向に並列配置した成膜装置を用いることができる。ターゲット2A、2Bに裏面にはバッキングプレート14とマグネトロン磁石15が配置されている。ターゲット2A、2Bの極性を交互に反転させ、電圧を印加させる方法で、グロー放電によるスパッタリングにより基体表面に被膜を形成させることにより除電を行いながらのスパッタリングが小型のスペースのないインライン型やベルジャー型装置などを用いることもできる。
請求項（抜粋）：
減圧した雰囲気を調製できる真空装置内にマグネトロンスパッタリングカソードと該カソード上に配置したターゲットと該ターゲットに対向する位置に成膜対象の基体を配置した成膜装置において、互いに近接位置であって、かつ基体の搬送方向と直交する方向に直列状に配置し、かつ基体の搬送方向に一列以上配置した一対のカソードと、前記一対のカソードの一方を陰極とするときには前記一対のカソードの他方を陽極とし、前記一対のカソードの他方を陰極とするときには前記一対のカソードの一方を陽極とするように、一対のカソードの極性を交互に反転させて、前記一対のカソード表面に設置した各カソードに対応した一対のターゲットにグロー放電生起用の電圧を印加させるための電源を備えたことを特徴とする成膜装置。
IPC (2件)：
FI (2件)：
C23C 14/34 C
, C23C 14/35 A
4K029BC07
, 4K029CA05
, 4K029DA01
, 4K029DC16
, 4K029DC43
, 4K029JA02
