特許
J-GLOBAL ID：200903003724665840
光学計測用マーク
発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
多田 公子 (外1名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平6-213984
公開番号（公開出願番号）：特開平8-075412
出願日： 1994年09月07日
公開日（公表日）： 1996年03月22日
要約：
【要約】【目的】 光学計測の際に、光学的に認識される測定点の画像を高コントラストで得ることができ、高精度の計測を可能とする光学計測用マークを提供する。【構成】 試験対象の複数の測定点に付される光学計測用マークであって、少なくとも表面の一部が鏡面に形成され且つ丸み(R)を有する。具体的には表面が鏡面である円筒状(半円筒状)の標棒30或いは球状(半球状)の標球である。標棒30は照射された光を円筒の軸に沿った1直線で全反射する。従って、標棒30が貼付された測定点を光学的に認識した場合、測定点は周辺との高いコントラストを有し、且つシャープな画像となり、測定点の相対移動量を高い精度で計測することができる。
請求項（抜粋）：
試験対象の複数の測定点を光学的に認識し、該複数の測定点の相対移動量を計測するために前記測定点に付される光学計測用マークであって、少なくとも表面の一部が鏡面に形成され且つ丸み(R)を有することを特徴とする光学計測用マーク。
IPC (2件)：
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