特許

J-GLOBAL ID：200903003725058866

遠心乾燥装置

発明者： 岩田 真一 ,  間庭 愛弘
出願人/特許権者： 株式会社カイジョー
代理人 (1件)： 羽切 正治
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平11-164745
公開番号（公開出願番号）：特開2000-353685
出願日： 1999年06月11日
公開日（公表日）： 2000年12月19日
要約：

【要約】【課題】 ターンテーブルの回転開始より停止までの乾燥作業中に或る基板が破壊したとき、基板の破壊を確実に検知することができる遠心乾燥装置を提供すること。【解決手段】 ターンテーブル1の回転中に基板が破壊したときの基板20の破片がチャンバー6の壁面に衝突して発生する振動を検知するための振動検出手段と、前記振動検出手段からの出力信号と予め設定した基準レベル信号とを比較する比較手段と、該比較手段の出力に基づいて前記基板の破壊を判定する判定手段とからなる異常振動検出手段を備え、前記異常振動検出手段おける前記比較手段の前記基準レベル信号を前記ターンテーブル1の回転状態に応じて可変して設定することにより基板の破壊を検知する。

請求項（抜粋）：

回転体の回転中心から偏倚した位置に、複数枚の基板をその主面同士が平行となるように整列して且つ該主面が前記回転中心に対して略直交する状態にて装填し、前記回転体の回転駆動することによって前記基板を乾燥させる遠心乾燥装置において、前記遠心乾燥装置作動中に発生する振動を検知するための振動検出手段と、該振動検出手段からの出力信号と予め設定した基準レベル信号とを比較する比較手段と、該比較手段の出力に基づいて前記基板の破壊を判定する判定手段とからなる異常振動検出手段を備え、前記異常振動検出手段おける前記比較手段の前記基準レベル信号を前記回転体の回転状態に応じて可変して設定することを特徴とする遠心乾燥装置。

IPC (3件)：

H01L 21/304 651 ,  B08B 3/10 ,  F26B 5/08

FI (3件)：

H01L 21/304 651 F ,  B08B 3/10 Z ,  F26B 5/08

Fターム (30件)：

3B201AA03 ,  3B201AA43 ,  3B201AB33 ,  3B201AB44 ,  3B201AB50 ,  3B201CC13 ,  3B201CD41 ,  3L113AA03 ,  3L113AB08 ,  3L113AC45 ,  3L113AC46 ,  3L113AC54 ,  3L113AC57 ,  3L113AC63 ,  3L113AC65 ,  3L113AC67 ,  3L113AC75 ,  3L113AC76 ,  3L113AC81 ,  3L113AC90 ,  3L113BA34 ,  3L113CA06 ,  3L113CA20 ,  3L113CB25 ,  3L113CB28 ,  3L113CB34 ,  3L113CB37 ,  3L113DA04 ,  3L113DA21 ,  3L113DA25