特許

J-GLOBAL ID：200903003725981389

感放射線性樹脂組成物

発明者： 猪俣 克巳 ,  大田 利幸 ,  辻 昭
出願人/特許権者： 日本合成ゴム株式会社
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平4-311266
公開番号（公開出願番号）：特開平6-138654
出願日： 1992年10月27日
公開日（公表日）： 1994年05月20日
要約：

【要約】【目的】 特に寸法忠実度およびフォーカス許容性に優れており、高集積度の集積回路製造用レジストとして有用な新規感放射線性組成物を提供する。【構成】 感放射線性樹脂組成物は、アルカリ可溶性樹脂、並びに下記式【化1】で代表されるキノンジアジド基を有する成分を含有する。

請求項（抜粋）：

アルカリ可溶性樹脂並びに下記一般式(1)【化1】〔一般式(1)において、X1 〜X10は同一でも異なってもよく、水素原子、アルキル基、アルコキシ基または-OD基(但し、Dは水素原子であるかもしくはキノンジアジド基を有する有機基である。)を示し、Y1 〜Y4 は同一でも異なってもよく、水素原子、アルキル基または-OZ基(但し、Zはアルキル基であるかもしくはアリール基を有する有機基である。)を示す。また、R1 〜R4は同一でも異なってもよく、水素原子またはアルキル基を示す。但し、X1 〜X5 の少なくとも1つおよびX6 〜X10の少なくとも1つは-OD基であり、Dのうち少なくとも1つはキノンジアジド基を有する有機基であるものとする。また、Y1 〜Y4 のうち少なくとも1つは-OZ基であるものとする。〕で表わされる化合物を含有することを特徴とする感放射線性樹脂組成物。

IPC (2件)：

G03F 7/022 ,  H01L 21/027