特許
J-GLOBAL ID:200903003726885189

洗浄装置

発明者:
出願人/特許権者:
代理人 (1件): 小池 隆彌
公報種別:公開公報
出願番号(国際出願番号):特願平10-018770
公開番号(公開出願番号):特開平11-216430
出願日: 1998年01月30日
公開日(公表日): 1999年08月10日
要約:
【要約】【課題】 従来の洗浄装置に対して構成を複雑なものとすることなく、洗浄の仕上がり状態を良好にすることができる洗浄装置を提供する。【解決手段】 ブラシ11は、液晶表示パネルの進行方向に対して直交する方向に摺動する。ブラシ11を摺動させる方法としては、ブラシ11を同時に回転させるユニットをスライドレール13上に配置し、モーターの回転軸に直結した円盤15に取り付けたシャフト16をユニットにつなぐことにより、モーターの回転によってユニットが液晶表示パネルの進行方向に対して直交する方向に動く。このようにして、ブラシ11を液晶表示パネルの進行方向に対して直交する方向に摺動させることができる。
請求項(抜粋):
板状物体を複数の搬送ローラーで搬送しながら、円筒状のブラシを回転させることで前記板状物体を洗浄する洗浄装置において、前記ブラシを回転させながら、前記板状物体の搬送方向に対して直交する方向に前記ブラシを摺動させることにより、前記板状物体の洗浄を行うことを特徴とする洗浄装置。
IPC (4件):
B08B 1/02 ,  G02F 1/1333 500 ,  H01L 21/304 644 ,  H01L 21/304
FI (4件):
B08B 1/02 ,  G02F 1/1333 500 ,  H01L 21/304 644 E ,  H01L 21/304 644 F

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