露光装置

発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：京本直樹 (外2名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平6-133495
公開番号（公開出願番号）：特開平8-008154
出願日： 1994年06月16日
公開日（公表日）： 1996年01月12日
要約：

【要約】【目的】水銀ランプの使用経過時間によるスループット低下を防止する露光装置を実現する。【構成】本発明の露光装置は、半導体基板19に対応して、水銀ランプ1と、水銀ランプ点灯装置2と、照度制御部3と、シャッター駆動制御部4と、照度センサ5と、モータ6と、シャッター7と、収光レンズ8と、ハーフミラー9と、楕円鏡10と、反射ミーラー11および15と、照明光学レンズ系12と、露光絞り13と、リレーレンズ14と、コンデンサレンズ16と、フォトマスク17と、投影レンズ18と、ステージ20とを備えて構成され、照度制御部3においては、照度センサ5による初期照度計測値と、所定の使用時間経過後の照度計測値とが比較されて照度低下率が計算され、当該低下率回復用の補正値が計算出力されて、水銀ランプ1の点灯電流または供給電圧が制御調整される。

請求項（抜粋）：

半導体装置の製造過程において、半導体基板上のフォトレジストに対して一定量の露光エネルギーを照射する露光装置において、新規に装着された水銀ランプより発光される紫外線の照度を計測する照度センサより出力される初期照度計測値と前記水銀ランプの所定使用時間経過後における前記照度センサより出力される照度計測値とを比較して、前記水銀ランプによる紫外線の照度低下率を演算出力する第1の機能と、前記照度低下率を回復させるために必要となる当該水銀ランプの点灯電流の補正値または当該水銀ランプに対する供給電圧の補正値の何れか一方を演算出力する第2の機能と、前記点灯電流の補正値または前記供給電圧の補正値を受けて、前記水銀ランプの点灯電流または供給電圧を制御調整し、当該水銀ランプより発光される紫外線による照度を増大させるように制御する第3の機能とを有する照度制御手段を、少なくとも前記紫外線の照度を一定に保持するための手段として備えることを特徴とする露光装置。

IPC (3件)：

H01L 21/027 , G03B 27/54 , G03F 7/20 521

FI (4件)：

H01L 21/30 527 , H01L 21/30 502 G , H01L 21/30 515 D , H01L 21/30 516 C

引用特許：

審査官引用 (3件)

特開昭63-046726
特開平2-106917
特許第2519156号

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