特許
J-GLOBAL ID：200903003730908681
IC試験装置
発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
草野 卓 (外1名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平8-145482
公開番号（公開出願番号）：特開平9-329644
出願日： 1996年06月07日
公開日（公表日）： 1997年12月22日
要約：
【要約】【課題】 テストヘッドから排気される温風がメインフレームに当たることを阻止し、更に室温の上昇を防ぐ。【解決手段】 テストヘッド10の排気口と対向して風向変換手段40を設け、風向変換手段によってテストヘッドから排出される温風の向きを変換すると共に、風向きを変換する部分に熱交換器50を設け、この熱交換器によって温風の温度を低下させ、風向変換手段から排気させる。
請求項１：
テストヘッドに付設した排気装置の排気口と対向して配置され、テストヘッドから排気される温風の向きを変換させる風向変換手段と、この風向変換手段の内部に風向きを変換した温風の温度を低下させる熱交換器を設けたことを特徴とするIC試験装置。
IPC (2件)：
FI (2件)：
G01R 31/26 Z
, G01R 31/28 H
