特許

J-GLOBAL ID：200903003731398377

感光性ペースト

発明者： 矢作 公
出願人/特許権者： 住友化学工業株式会社
代理人 (3件)： 久保山 隆 ,  中山 亨 ,  榎本 雅之
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2003-043877
公開番号（公開出願番号）：特開2004-177921
出願日： 2003年02月21日
公開日（公表日）： 2004年06月24日
要約：

【課題】焼成前後でのパターンサイズの変化が小さい隔壁を製造し得る感光性ペーストを提供する。【解決手段】[1]アルカリ可溶性ポリオルガノシロキサン樹脂組成物と、無機粒子とを含有してなる感光性ペースト。[2]さらに、硼酸又はその誘導体を含有してなる[1]記載の感光性ペースト。[3]さらに、電磁線または熱により酸を発生する化合物を含有してなる[1]〜[3]記載の感光性ペースト。[4]アルカリ可溶性ポリオルガノシロキサン樹脂組成物が、下記式(A)および(B)を含有してなる[1]〜[4]記載の感光性ペースト。(A)オキシラニル基およびオキセタニル基からなる群から選ばれる少なくとも一種の官能基を含むポリオルガノシロキサン樹脂。(B)水酸基を有するポリオルガノシロキサン樹脂。【選択図】 なし

請求項（抜粋）：

アルカリ可溶性ポリオルガノシロキサン樹脂組成物と、無機粒子とを含有してなることを特徴とする感光性ペースト。

IPC (6件)：

G03F7/075 ,  G03F7/004 ,  G03F7/032 ,  H01J9/02 ,  H01J11/02 ,  H01J17/04

FI (8件)：

G03F7/075 521 ,  G03F7/075 511 ,  G03F7/004 501 ,  G03F7/004 503Z ,  G03F7/032 ,  H01J9/02 F ,  H01J11/02 B ,  H01J17/04

Fターム (30件)：

2H025AA03 ,  2H025AB14 ,  2H025AC01 ,  2H025AD01 ,  2H025BD23 ,  2H025BD25 ,  2H025BD55 ,  2H025BE00 ,  2H025CB33 ,  2H025CB41 ,  2H025CB45 ,  2H025CC08 ,  2H025CC20 ,  2H025FA17 ,  2H025FA29 ,  5C027AA09 ,  5C040FA10 ,  5C040GF18 ,  5C040GF19 ,  5C040JA02 ,  5C040JA15 ,  5C040JA21 ,  5C040KA08 ,  5C040KA14 ,  5C040KA16 ,  5C040KB11 ,  5C040KB28 ,  5C040KB29 ,  5C040LA17 ,  5C040MA24