特許
J-GLOBAL ID：200903003735550076
赤外線センサ
発明者：
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出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
松本 武彦
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平4-277575
公開番号（公開出願番号）：特開平6-129898
出願日： 1992年10月15日
公開日（公表日）： 1994年05月13日
要約：
【要約】【目的】 薄膜抵抗体を用いた赤外線センサにおいて、赤外線の検出感度を大幅に向上させて、各種の用途に好適に採用できる赤外線センサを提供する。【構成】 基板10に中空状態で支持された熱絶縁膜20の上に、一対の電極30、30を有する抵抗体層40からなる赤外線検出部を備え、前記基板10がパッケージ内に封入されてなる赤外線センサにおいて、パッケージの内部空間が、1Torr以下の減圧状態であることにより、赤外線検出部から周囲の気体を介してパッケージの構造部分に熱が伝わるのを阻止し、赤外線センサの感度を向上させる。
請求項（抜粋）：
基板に中空状態で支持された熱絶縁膜の上に、一対の電極を有する抵抗体層からなる赤外線検出部を備え、前記基板がパッケージ内に封入されてなる赤外線センサにおいて、パッケージの内部空間が、1Torr以下の減圧状態であることを特徴とする赤外線センサ。
IPC (2件)：
引用特許：
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