集光光学系及び偏光回転低減方法

発明者： , , ,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：佐野静夫 (外1名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2001-129927
公開番号（公開出願番号）：特開2002-324342
出願日： 2001年04月26日
公開日（公表日）： 2002年11月08日
要約：

【要約】【課題】重量が増加しないかあるいは最小限の増加量で偏光回転を低減することが可能な集光光学系,偏光回転低減方法を提供する。【解決手段】集光光学系(20)は、レーザ光を高NAで集光する対物レンズ(21)を含み、対物レンズ(21)で集光したレーザ光をディスク表面(23a)に入射させる。対物レンズ(21)の表面上には多層膜がコートされており、ディスク表面(23a)で生じる偏光回転とは逆方向の偏光回転を瞳の全領域又は一部分に生じさせる。その結果、レーザ光がディスク表面(23a)に入射する際に生じる偏光回転は、対物レンズ(21)で生じる偏光回転により低減する。

請求項（抜粋）：

光を高い開口数で集光する対物レンズを含み、その対物レンズで集光した光を試料面に入射させる集光光学系であって、光が試料面に入射する際に生じる偏光回転を、前記対物レンズで生じる偏光回転により低減させることを特徴とする集光光学系。

IPC (6件)：

G11B 11/105 551 , G02B 1/10 , G02B 5/30 , G02B 13/00 , G02B 27/28 , G11B 7/135

FI (7件)：

G11B 11/105 551 P , G02B 5/30 , G02B 13/00 , G02B 27/28 Z , G11B 7/135 A , G11B 7/135 Z , G02B 1/10 Z

Fターム (29件)：

2H049BA06 , 2H049BA08 , 2H049BA43 , 2H049BC21 , 2H087KA13 , 2H087LA01 , 2H087PA02 , 2H087PA17 , 2H087PB02 , 2H087RA42 , 2H099AA05 , 2H099BA17 , 2H099CA00 , 2H099CA08 , 2H099DA00 , 2K009BB02 , 2K009CC03 , 2K009CC06 , 2K009EE00 , 5D075AA03 , 5D075CC12 , 5D075CD13 , 5D075CD17 , 5D119AA17 , 5D119BA01 , 5D119EC32 , 5D119JA31 , 5D119JA44 , 5D119JB02

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