静電容量形加速度測定装置

発明者： , , ,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：浅村皓 (外2名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平5-099633
公開番号（公開出願番号）：特開平6-300777
出願日： 1993年04月26日
公開日（公表日）： 1994年10月28日
要約：

【要約】 (修正有)【目的】小型にされた超軽量変換器モジュールを備え、かつ、高精度と高い安定性を有する加速度測定装置を提供する。【構成】小型容器を備え、かつ、遠隔の電子装置モジュール8に対しケーブル7により電気的に接続可能であるが、振動の点では分離された、少なくとも1個の変換器モジュール1を有する静電容量形加速度測定装置変換器。モジュールの重量をできるだけ小さくするために、変換器モジュール1は少なくとも1個のセンサ・チップ3と、極性化回路網5と、インピーダンス変換器6だけを有する。これらの部品はすべて、同じ基板の上に集積化して製造することができる。他方、回路の主要な部分は電子装置モジュール8の中とコネクタ・プラグ15の中に組み込まれる。少なくとも励振回路9と、同期復調回路10と、出力フィルタ11とが電子装置モジュールの中に備えられる。

請求項（抜粋）：

電気的に相互に接続され第1の容器の中に取り付けられた差動静電容量形センサ・チップとインピーダンス変換器とを少なくとも有する少なくとも1個の変換器モジュールと、前記第1の容器から離れた位置に配置され、かつ、電気的に相互に接続された励振回路と同期復調回路とを少なくとも有する電子装置モジュールと、前記変換器モジュールと前記分離された電子装置モジュールとを電気的に接続し、かつ、前記変換器モジュールを前記分離された電子装置モジュールから振動の点で分離するケーブルと、を含む、静電容量形加速度測定装置。

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