感光性ペースト

発明者： , ,
出願人/特許権者：
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平8-022795
公開番号（公開出願番号）：特開平9-218509
出願日： 1996年02月08日
公開日（公表日）： 1997年08月19日
要約：

【要約】【課題】高アスペクト比かつ高精度のパターン加工を可能にする感光性ペーストを安定して提供する。【解決手段】無機微粒子と感光性有機成分とリン含有化合物を含むことを特徴とする感光性ペースト。

請求項（抜粋）：

リン含有化合物、感光性有機成分、無機微粒子を必須成分とする感光性ペースト。

IPC (6件)：

G03F 7/004 501 , C03C 3/091 , C03C 8/02 , C03C 8/14 , G02F 1/1333 , H05K 1/09

FI (6件)：

G03F 7/004 501 , C03C 3/091 , C03C 8/02 , C03C 8/14 , G02F 1/1333 , H05K 1/09 D

引用特許：

審査官引用 (5件)

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