特許
J-GLOBAL ID：200903003769332779

有機ELディスプレイパネル、有機ELディスプレイパネルのゲッタ部形成方法及び有機ELディスプレイパネルのゲッタ部形成装置

発明者：
柳澤 眞太郎

柳澤 眞太郎 について


出願人/特許権者：
株式会社テスコム

株式会社テスコム について


代理人 (1件)： 保立 浩一
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2002-352947
公開番号（公開出願番号）：特開2004-186044
出願日： 2002年12月04日
公開日（公表日）： 2004年07月02日
要約：
【課題】作業性、生産性、信頼性等の点で優れたゲッタ部の固定技術を提供し、安価で高性能の有機ELディスプレイの提供に貢献する。【解決手段】EL素子部1を固定した固定側基板21と固定しない非固定側基板22とからなるパッケージ2内の水分を吸収又は吸着するゲッタ部3を非固定側基板22の表面に形成する。排気系41を備えた処理チャンバー4内に非固定側基板22を配置し、非固定側基板22の表面に真空蒸着により多孔質性の膜をゲッタ部3として形成する。蒸発源51,52は二つ設けられ、一つは水分を吸収又は吸着する材料のもの、もう一つは酸素を吸収又は吸着する材料のものである。蒸発源51,52からの蒸発物が異なる方向から非固定側基板22に入射するよう、向き変更手段7が、蒸発源51,52に対する非固定側基板22の向きを変更する。【選択図】 図3
請求項（抜粋）：
少なくとも一方が透明電極である一対の電極で有機薄膜を挟んで当該一対の電極により有機薄膜に電圧を印加して有機薄膜を発光させる有機ELディスプレイパネルであって、 前記有機薄膜及び前記一対の電極より成るEL素子部と、 EL素子部を内部に収めたパーケージとから成り、 このパッケージは、前記EL素子部が固定される固定側基板と、前記EL素子を固定していない非固定側基板とから成り、 パッケージには、水分を吸収又は吸着するゲッタ部が設けられており、このゲッタ部は、固定側基板又は非固定側基板の表面に真空蒸着により形成された多孔質の膜であることを特徴とする有機ELディスプレイパネル。
IPC (4件)：
H05B33/04 ,  C23C14/24 ,  H05B33/10 ,  H05B33/14
FI (4件)：
H05B33/04 ,  C23C14/24 E ,  H05B33/10 ,  H05B33/14 A
Fターム (21件)：
3K007AB11 ,  3K007AB12 ,  3K007AB13 ,  3K007AB14 ,  3K007AB18 ,  3K007BB01 ,  3K007BB05 ,  3K007CB01 ,  3K007DB03 ,  3K007FA01 ,  3K007FA02 ,  4K029AA09 ,  4K029BA09 ,  4K029BA35 ,  4K029BA43 ,  4K029BA46 ,  4K029BA62 ,  4K029BC07 ,  4K029CA01 ,  4K029DB14 ,  4K029DB17
引用特許：
出願人引用 (3件)
  • 有機EL素子
    公報種別：公開公報   出願番号：特願平9-079596   出願人：株式会社豊田中央研究所
  • 電界発光素子
    公報種別：公開公報   出願番号：特願2000-386071   出願人：株式会社リコー
  • 特許第2800813号
審査官引用 (3件)
  • 有機EL素子
    公報種別：公開公報   出願番号：特願平9-079596   出願人：株式会社豊田中央研究所
  • 電界発光素子
    公報種別：公開公報   出願番号：特願2000-386071   出願人：株式会社リコー
  • 特許第2800813号

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