特許
J-GLOBAL ID:200903003773385003

X線分析方法およびX線分析装置

発明者:
出願人/特許権者:
公報種別:公開公報
出願番号(国際出願番号):特願平7-233313
公開番号(公開出願番号):特開平9-054052
出願日: 1995年08月18日
公開日(公表日): 1997年02月25日
要約:
【要約】【課題】 短時間で試料の面分析可能なX線分析方法およびX線分析装置の提供を目的とする。【解決手段】 一次放射線照射手段から発生される一次放射線を試料に照射し、該試料より放出される蛍光X線のエネルギーを検出器で測定して試料の元素分析を行うに際し、一次X線照射手段と検出器との間に孔を有するX線遮蔽体を設置し、該孔を通過したX線のエネルギーをエネルギー分散型検出器により測定することにより試料の元素分析を行うことを特徴とする。
請求項(抜粋):
点状光源より発生される一次放射線を試料に照射し、該試料より放出される蛍光X線を検出器で検出して、検出した該蛍光X線のエネルギーに基づいて該試料中に含まれる成分分析を行うX線分析方法において、該試料より放出される蛍光X線を検出するに際し、孔を有するX線遮蔽手段を試料と検出器との間に設置し、該孔を通過した蛍光X線を検出することにより試料の成分分析を行うことを特徴とするX線分析方法。
引用特許:
出願人引用 (4件)
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審査官引用 (2件)
  • 特開平4-175646
  • 特開平2-187689

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