特許

J-GLOBAL ID：200903003777100615

静電チャック

発明者： 福留 武郎 ,  会田 比呂史 ,  三上 一彦 ,  伊東 裕見子
出願人/特許権者： 京セラ株式会社
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平10-015833
公開番号（公開出願番号）：特開平11-214493
出願日： 1998年01月28日
公開日（公表日）： 1999年08月06日
要約：

【要約】【課題】0〜50°Cの温度範囲内において、ジョンソン・ラーベック力による高い吸着力が得られる窒化アルミニウム製静電チャックを提供する。【解決手段】被固定物吸着面5が、窒化アルミニウムを主成分とするセラミックスからなる静電チャック1であって、前記セラミックスが、少なくともセリウム(Ce)を酸化物換算で5〜20体積%を含むとともに、Ce3+/Ce4+の原子比を1〜3の範囲に制御することにより、0°Cから50°Cの温度範囲において体積固有抵抗が108 〜1012Ω-cmとすることができ、これにより低温域においてのジョンソン・ラーベック力による高い吸着力を得ることができる。

請求項（抜粋）：

被固定物吸着面が、窒化アルミニウムを主成分とするセラミックスからなる静電チャックであって、前記セラミックスが、少なくともセリウム(Ce)を含むとともに、Ce3+/Ce4+の原子比が1〜3であることを特徴とする静電チャック。

IPC (4件)：

H01L 21/68 ,  B23Q 3/15 ,  C04B 35/581 ,  H02N 13/00

FI (4件)：

H01L 21/68 R ,  B23Q 3/15 D ,  H02N 13/00 D ,  C04B 35/58 104 B

引用特許：

出願人引用 (4件)

• 窒化アルミニウム焼結体、金属埋設品、電子機能材料および静電チャック
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平9-072799   出願人：日本碍子株式会社
• 半導体製造用耐食性部材
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平8-155798   出願人：京セラ株式会社
• 特開昭62-017074
  
• 高放熱性窒化アルミニウム焼結体及びその製造方法
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平4-026669   出願人：株式会社東芝