特許

J-GLOBAL ID：200903003783225594

試料台

発明者： 尾形 文夫
出願人/特許権者： 株式会社ニコン
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平7-274519
公開番号（公開出願番号）：特開平9-115992
出願日： 1995年10月23日
公開日（公表日）： 1997年05月02日
要約：

【要約】【課題】 試料の基準軸が装置の基準軸と平行になるように、簡単に試料を設置できる、簡単な構造の試料台を提案すること。【解決手段】 試料の基準面が当接する位置決め部材を有し、該位置決め部材が下側になるように傾斜可能な試料載置板、該試料台を傾斜させる駆動機構、及び該駆動機構を駆動する駆動部で試料台を構成した。

請求項（抜粋）：

外周の一部を基準面とする試料を載置する試料台において、傾斜自在に設けられた試料載置板、該試料載置板の傾斜の下側に設けられた試料の基準面が当接する位置決め部材、前記試料載置板を傾斜させる駆動機構、及び該駆動機構を駆動する駆動部を有することを特徴とする試料台。

IPC (4件)：

H01L 21/68 ,  G01B 5/00 ,  G01M 11/00 ,  G02F 1/13 101

FI (4件)：

H01L 21/68 M ,  G01B 5/00 L ,  G01M 11/00 T ,  G02F 1/13 101