特許
J-GLOBAL ID：200903003783882226
曲率ミラー保持装置
発明者：
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出願人/特許権者：
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代理人 (1件)：
和泉 雄一
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平6-093054
公開番号（公開出願番号）：特開平7-281077
出願日： 1994年04月06日
公開日（公表日）： 1995年10月27日
要約：
【要約】[目的] 本発明は、イメージスキャナーや表面欠陥検査装置等に備えられたビームスキャナーに使用する曲率ミラー保持装置に係わり、特に、大型の曲率ミラーに対して、ミラー形状を理論値となる様に補正して保持することのできる曲率ミラー保持装置を提供することを目的とする。[構成] 本発明は、曲率ミラーの反射面側に形成された形状基準手段が、曲率ミラーに沿って連続的に当接することにより、ミラー形状を補正し、押圧保持手段が、曲率ミラーに沿って連続的に当接することにより、曲率ミラーを形状基準手段に押圧させる様になっており、押圧保持手段の走査方向の剛性を形状基準手段の走査方向の剛性より低くする様になっている。
請求項（抜粋）：
曲率ミラーを保持するための曲率ミラー保持装置であって、該曲率ミラーの反射面側に形成され、前記曲率ミラーに沿って連続的に当接することにより、ミラー形状を補正するための形状基準手段と、前記曲率ミラーを該形状基準手段に押圧させるために、前記曲率ミラーに沿って連続的に当接可能に形成された押圧保持手段とを備えた曲率ミラー保持装置。
IPC (2件)：
引用特許：
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