析出用基板

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出願人/特許権者：
代理人 (1件)：梶良之 (外1名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2001-397298
公開番号（公開出願番号）：特開2003-192324
出願日： 2001年12月27日
公開日（公表日）： 2003年07月09日
要約：

【要約】【課題】溶湯に浸漬させた後搬送する際の各基板の位置決め、及び、底面において凝固成長させた析出物を引き剥がす作業を容易に行うことができる。【解決手段】進行方向の上流側および下流側の各側面1bは、析出物である半導体基板2を上面の両端部1cよりも進行方向の内側に位置させるように形成されている。析出用基板1は、進行方向の上流側から斜め方向に下降されて溶湯15に浸漬された後、進行方向の下流側に斜め方向に上昇されて溶湯15から引き上げられることによって、浸漬された部分に溶湯15の凝固成長した半導体基板2を得る。

請求項１：

進行方向の上流側から斜め方向に下降されて溶湯に浸漬された後、進行方向の下流側に斜め方向に上昇されて溶湯から引き上げられることによって、浸漬された部分に溶湯の凝固成長した析出物を得る析出用基板であって、前記進行方向の上流側および下流側の各側面は、析出物を上面の両端部よりも進行方向の内側に位置させるように形成されていることを特徴とする析出用基板。

IPC (3件)：

C01B 33/02 , H01L 21/02 , H01L 31/04

FI (3件)：

C01B 33/02 E , H01L 21/02 Z , H01L 31/04 X

Fターム (13件)：

4G072AA01 , 4G072BB02 , 4G072BB12 , 4G072GG01 , 4G072GG03 , 4G072HH01 , 4G072MM21 , 4G072MM38 , 4G072UU01 , 5F051AA03 , 5F051CB04 , 5F051CB29 , 5F051CB30

引用特許：

出願人引用 (12件)

特開昭49-115982
特開昭56-059695
特開昭61-048418

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審査官引用 (16件)

特開昭55-082435
結晶シート製造装置および結晶シート製造方法
公報種別：公開公報出願番号：特願2000-369665 出願人：シャープ株式会社
特開昭49-115982

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