特許

J-GLOBAL ID：200903003790723486

ペリクル

発明者： 岡田 要 ,  三代 均 ,  菊川 信也
出願人/特許権者： 旭硝子株式会社
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2002-162977
公開番号（公開出願番号）：特開2004-012597
出願日： 2002年06月04日
公開日（公表日）： 2004年01月15日
要約：

【課題】露光光による接着材やシール剤の劣化を防ぎ、長期にわたりペリクルの機能を維持できるようにする。【解決手段】上面と底面とに開口部を有する箱状のペリクルフレーム3とペリクルフレームの一方の開口部に接着したペリクル板2とを備えたペリクル1であって、ペリクル板2は石英ガラスからなり、ペリクルフレーム3は、波長150〜700nmの分光内部透過率が10%/cm以下であり、かつ波長150〜700nmの分光反射率が15%以下である石英ガラスからなる。特に、ペリクルフレーム3は、有色の顔料を含有する石英ガラスであることが好ましい。【選択図】図1

請求項（抜粋）：

上面と底面とに開口部を有する箱状のペリクルフレームとペリクルフレームの一方の開口部に接着したペリクル板とを備えたペリクルであって、ペリクル板は石英ガラスからなり、ペリクルフレームは、波長150〜700nmの分光内部透過率が10%/cm以下であり、かつ波長150〜700nmの分光反射率が15%以下である石英ガラスからなるペリクル。

IPC (1件)：

G03F1/14

FI (1件)：

G03F1/14 K

Fターム (3件)：

2H095BB30 ,  2H095BC33 ,  2H095BC37