特許
J-GLOBAL ID：200903003792014342
洗浄方法及び洗浄装置
発明者：
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出願人/特許権者：
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代理人 (1件)：
須山 佐一
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平8-155866
公開番号（公開出願番号）：特開平8-325767
出願日： 1992年10月27日
公開日（公表日）： 1996年12月10日
要約：
【要約】【課題】 高負荷、高濃度の洗浄排液を希釈することなく、安定にかつ効率よく処理、再生することを可能にすると共に、すすぎ液の有効利用を図った洗浄方法を提供する。【解決手段】 非水系の洗浄剤が収容された洗浄槽により、被洗浄物に付着する汚れ成分を除去する洗浄工程と、非水系のすすぎ液が収容され、被洗浄物の移送方向と逆方向にすすぎ液が順に送られるよう連結された多槽連結式すすぎ槽により、被洗浄物に付着する洗浄剤成分を除去するすすぎ工程とを具備し、多槽連結式すすぎ槽の最下流側に位置するすすぎ槽から排出される洗浄排液を、減圧蒸留し、得られる凝縮液を最上流側に位置するすすぎ槽に循環供給しつつ、すすぎ工程を行うことを特徴とする洗浄方法。
請求項（抜粋）：
非水系の洗浄剤が収容された洗浄槽により、被洗浄物に付着する汚れ成分を除去する洗浄工程と、非水系のすすぎ液が収容され、前記被洗浄物の移送方向と逆方向に前記すすぎ液が順に送られるよう連結された多槽連結式すすぎ槽により、前記被洗浄物に付着する前記洗浄剤成分を除去するすすぎ工程とを具備し、前記多槽連結式すすぎ槽の最下流側に位置するすすぎ槽から排出される洗浄排液を、減圧蒸留し、得られる凝縮液を最上流側に位置するすすぎ槽に循環供給しつつ、前記すすぎ工程を行うことを特徴とする洗浄方法。
IPC (8件)：
C23G 1/36
, B01D 19/04
, B08B 3/04
, B08B 3/14
, C02F 1/04 ZAB
, C11D 3/37
, C23G 3/00
, C23G 5/04
C23G 1/36
, B01D 19/04 A
, B08B 3/04 B
, B08B 3/14
, C02F 1/04 ZAB D
, C11D 3/37
, C23G 3/00 Z
, C23G 5/04
