特許
J-GLOBAL ID:200903003798364663

有機EL発光装置の製造方法

発明者:
出願人/特許権者:
代理人 (1件): 中村 静男 (外2名)
公報種別:公開公報
出願番号(国際出願番号):特願平9-066220
公開番号(公開出願番号):特開平10-261486
出願日: 1997年03月19日
公開日(公表日): 1998年09月29日
要約:
【要約】 (修正有)【課題】 複数の有機EL素子を発光源とする発光装置装置においては、従来より所定形状のマスクを用いた蒸着法やリソグラフィ法、あるいは蒸着法により対向電極ライン形成に先だち有機EL素子形成用基板の所定箇所に樹脂製隔壁を形成する方法により、素子構成部材である有機発光部及び対向電極のうち少くとも一方が形成されているが、所定の大いさを有する複数の有機EL素子を備え、個々の素子の発光特性が高く、かつこれらの素子が高い位置精度の下に高精細に形成されている有機EL発光装置は前記方法により得ることは困難である。【解決手段】 基材に複数の有機EL素子用下部電極し下部電極付き基板を得、この基板外表面に対向電極を形成しようとする箇所に開口部を有している剥離層を不活性溶媒に可溶の樹脂で形成しマスクとして利用し、有機発光部用材料層及び対向電極用材料層を形成後、剥離層の一部を不活性剥離液を用い形成層ごと除去する。
請求項(抜粋):
基材に複数の有機EL素子用下部電極を形成して下部電極付き基板を得る下部電極付き基板作製工程と、前記の有機EL素子用下部電極が形成されている側の下部電極付き基板の外表面に、有機EL素子用の対向電極を形成しようとする箇所に開口部を有している剥離層を形成する剥離層形成工程と、前記の剥離層をマスクとして利用して、有機EL素子において有機発光部となる有機発光部用材料層を前記の開口部から裸出している部材表面上に形成する有機発光部用材料層形成工程と、前記の剥離層をマスクとして利用して、有機EL素子において対向電極となる対向電極用材料層を前記の開口部内に形成されている有機発光部用材料層上に形成して、前記の有機EL素子用下部電極と前記の有機発光部用材料層と該対向電極用材料層との平面視上の交差部に有機EL素子を形成する対向電極用材料層形成工程と、前記の剥離層の少なくとも一部を、前記の有機EL素子に対して実質的に不活性な剥離液を用いて該剥離層上に形成されている層ごと除去する剥離層除去工程と、を含み、前記の剥離層を、前記の有機EL素子に対して実質的に不活性な溶媒に可溶の樹脂によって形成する、ことを特徴とする有機EL発光装置の製造方法。

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