面形状特性測定装置および面形状特性測定方法

発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：佐藤隆久
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2000-157944
公開番号（公開出願番号）：特開2001-330431
出願日： 2000年05月24日
公開日（公表日）： 2001年11月30日
要約：

【要約】【課題】光ディスクの信号記録面等の円盤体の被測定面の表面形状に関する特性を正確にかつ効率的に測定することができる面形状特性測定装置および面形状特性測定方法を提供する。【解決手段】回転する円盤体の被測定面の垂直方向の速度を検出するレーザドップラー速度計11と、レーザドップラー速度計11による各測定位置での線速度と検出した垂直方向の検出速度とに基づいて、光ディスクDの各測定位置における基準面に対する回転方向の傾斜角βを算出する傾斜角算出部61と、光ディスクDの各測定位置における垂直方向の変位を算出する変位算出部60と、垂直方向の加速度を算出する加速度算出部59と、フォーカスサーボ系に発生すると予想される追従誤差量を算出する追従誤差量算出部58とを有する。

請求項１：

回転する円盤体の被測定面の垂直方向の速度を検出する速度検出手段と、前記速度検出手段による各測定位置での線速度と検出した垂直方向の検出速度とに基づいて、前記被測定面の前記各測定位置における基準面に対する回転方向の傾斜角を算出する傾斜角算出手段とを有する面形状特性測定装置。

IPC (7件)：

G01B 21/30 101 , G01B 11/26 , G01B 21/20 , G01B 21/22 , G01P 3/36 , G01S 17/58 , G11B 7/26

FI (7件)：

G01B 21/30 101 F , G01B 11/26 Z , G01B 21/20 Z , G01B 21/22 , G01P 3/36 E , G01S 17/58 , G11B 7/26

Fターム (52件)：

2F065AA35 , 2F065AA46 , 2F065BB03 , 2F065BB16 , 2F065CC03 , 2F065DD00 , 2F065FF00 , 2F065FF64 , 2F065GG04 , 2F065HH04 , 2F065HH13 , 2F065JJ01 , 2F065LL12 , 2F065MM04 , 2F065PP13 , 2F065QQ03 , 2F065QQ33 , 2F065QQ34 , 2F065RR06 , 2F065SS13 , 2F065UU05 , 2F069AA54 , 2F069AA66 , 2F069AA71 , 2F069CC07 , 2F069GG07 , 2F069GG20 , 2F069HH09 , 2F069HH15 , 2F069HH30 , 2F069JJ17 , 2F069MM26 , 2F069NN00 , 2F069NN02 , 2F069NN05 , 2F069NN06 , 2F069NN08 , 5D121HH07 , 5D121HH18 , 5J084AA07 , 5J084AB17 , 5J084AC07 , 5J084AD04 , 5J084CA29 , 5J084CA31 , 5J084CA34 , 5J084CA76 , 5J084DA01 , 5J084DA02 , 5J084DA08 , 5J084EA01 , 5J084EA40

引用特許：

審査官引用 (13件)

オンライン板厚測定方法および装置
公報種別：公開公報出願番号：特願平7-081560 出願人：三菱原子燃料株式会社
特開平2-240504
光ディスク測定装置
公報種別：公開公報出願番号：特願平8-237693 出願人：株式会社東芝

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