特許

J-GLOBAL ID：200903003809296800

基板検査装置

発明者： 岩田 敏 ,  鈴木 伸二
出願人/特許権者： 富士通株式会社
代理人 (1件)： 伊東 忠彦
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平4-245135
公開番号（公開出願番号）：特開平6-094651
出願日： 1992年09月14日
公開日（公表日）： 1994年04月08日
要約：

【要約】【目的】 本発明はX線を用いて基板の断面観察を行う基板検査装置に関し、画質劣化の少ない再構成画像を得ることを目的とする。【構成】 回転ステージ25に搭載された基板26をX線源22から蛍光板23まで移動させて拡大率を変化させる直進ステージ24が設けられる。そして、拡大率の異なる投影データの拡大率を揃えて再構成画像を生成する画像処理ユニット37が設けられる。

請求項（抜粋）：

回転手段(25)により回転される基板(26)に、X線源(22)よりX線を照射し、該基板(26)の拡大された投影データを受像手段(23,27,28)により受像し、該基板(26)の再構成画像を生成する基板検査装置において、前記回転手段(25)を、前記X線源(22)から前記受像手段(23,27,28)まで移動させて拡大率を変化させる移動手段(24)と、該移動手段(24)により、得られる拡大率の異なる前記投影データの拡大率を揃えて前記再構成画像を生成させるデータ補正手段(37)と、を有することを特徴とする基板検査装置。

IPC (2件)：

G01N 23/18 ,  H01L 21/66