特許
J-GLOBAL ID：200903003809592310
外観検査装置及びその調整方法
発明者：
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出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
松本 眞吉
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平4-189727
公開番号（公開出願番号）：特開平6-034562
出願日： 1992年07月16日
公開日（公表日）： 1994年02月08日
要約：
【要約】【目的】ラジアルコードのビット長を長くすることなく欠陥の過剰検出を低減する。【構成】ラジアル測長値r1〜r16を、互いにコード化基準値が異なるコード化回路26N、26P及び26Mに供給して、パターンを分類するラジアルコードRCN、RCP及びRCMを作成し、互いに同一構成の欠陥判別辞書28N、28P及び28Mに供給して、正常/欠陥の2値を読み出し、これをアンドゲート30に供給して、最終的な良否判別結果を得る。ラジアルコードRCNが同一であってもパターンの細かな相違によりラジアルコードRCP又は/及びRCMが異なってくるので、ラジアルコードのビット長を長くしなくても、ラジアルコードのビット長を長くしたのと実質的に同様になる。
請求項（抜粋）：
試料(2)上に形成されたパターンを撮像する撮像手段(1)と、撮像された画像が格納される画像記憶手段(3)と、該画像に対し任意の中心画素から複数方向のパターン部長さを測定するラジアル測長手段(4)と、該複数方向のパターン部長さの測長値(r1〜rn)に基づいて該パターンの中心を検出するパターン中心検出手段(5)と、該複数方向のパターン部長さの該測長値を、第1基準値に基づいて、該パターンを分類する第1ラジアルコード(RCN)を作成し、少なくとも1つが該第1基準値よりも大きい第2基準値に基づいて、該パターンを分類する第2ラジアルコード(RCP)を作成し、少なくとも1つが該第1基準値よりも小さい第3基準値に基づいて、該パターンを分類する第3ラジアルコード(RCM)を作成するラジアルコード化手段(6)と、該パターン中心を検出したときの該第1ラジアルコード、該第2ラジアルコード及び該第3ラジアルコードで参照されて該第1ラジアルコード、該第2ラジアルコード及び該第3ラジアルコードの各々に対応した欠陥の程度が読み出される欠陥判別辞書(7)と、読み出された、該第1ラジアルコード、該第2ラジアルコード及び該第3ラジアルコードに対応した欠陥の程度に基づいて該パターンが欠陥であるかどうかを最終的に判別する最終欠陥判別手段(8)と、を有することを特徴とする外観検査装置。
IPC (2件)：
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