特許

J-GLOBAL ID：200903003814157517

レーザー露光装置

発明者： 森 誠樹 ,  中川 洋幸
出願人/特許権者： 東レエンジニアリング株式会社
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2000-074709
公開番号（公開出願番号）：特開2001-265000
出願日： 2000年03月16日
公開日（公表日）： 2001年09月28日
要約：

【要約】【課題】 ウエハー等の対象物上に、視認性良好な識別コードを露光するレーザー露光装置を提供する。【解決手段】 円形ビームを発振するレーザー発振器と、発振されたレーザービームを拡大するビームエキスパンダーと、拡大された円形ビームを矩形に整形する矩形マスクと、矩形にしたレーザービームを縮小する光学系とから成るレーザー露光装置。

請求項（抜粋）：

円形ビームを発振するレーザー発振器と、発振されたレーザービームを拡大するビームエキスパンダーと、拡大された円形ビームを矩形に整形する矩形マスクと、矩形にしたレーザービームを縮小する光学系とから成るレーザー露光装置。

IPC (4件)：

G03F 7/20 505 ,  G03F 7/20 521 ,  H01L 21/02 ,  H01L 21/027

FI (4件)：

G03F 7/20 505 ,  G03F 7/20 521 ,  H01L 21/02 A ,  H01L 21/30 529

Fターム (12件)：

2H097AA03 ,  2H097CA17 ,  2H097LA10 ,  5F046AA16 ,  5F046BA05 ,  5F046BA07 ,  5F046CA03 ,  5F046CB05 ,  5F046CB12 ,  5F046CC15 ,  5F046DA12 ,  5F046DD03

引用特許：

審査官引用 (2件)

• 特開平4-351280
  
• 特開平2-074022