特許
J-GLOBAL ID：200903003815879672
光源ユニット、照明光学装置、露光装置および露光方法
発明者：
,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
山口 孝雄
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2003-105117
公開番号（公開出願番号）：特開2004-311814
出願日： 2003年04月09日
公開日（公表日）： 2004年11月04日
要約：
【課題】発光点の周りの構造物が障害になることなく、光量損失を良好に抑えて所望の光強度分布でDPP発散光を集光させることのできる光源ユニット。【解決手段】標的材料をプラズマ化し、該プラズマからEUV光を放出する光源本体(11)と、貫通孔を有する第1反射鏡(12a)と、光源本体と第1反射鏡との間の光路中に配置されて貫通孔を有する第2反射鏡(12b)とを備えている。光源ユニットは、EUV光を、第2反射鏡の貫通孔、第1反射鏡の反射面、第2反射鏡の反射面、および第1反射鏡の貫通孔を介して、所定の位置(12c)に集光する。【選択図】 図3
請求項（抜粋）：
標的材料をプラズマ化し、該プラズマからEUV光を放出する光源本体と、貫通孔を有する第1反射鏡と、前記光源本体と前記第1反射鏡との間の光路中に配置されて貫通孔を有する第2反射鏡とを備え、
前記EUV光を、前記第2反射鏡の貫通孔、前記第1反射鏡の反射面、前記第2反射鏡の反射面、および前記第1反射鏡の貫通孔を介して、所定の位置に集光することを特徴とする光源ユニット。
IPC (2件)：
FI (2件)：
H01L21/30 531S
, G03F7/20 521
