特許

J-GLOBAL ID：200903003816415092

安定化圧力センサ

発明者： ハルベルイ,ニルス・グンノ ,  ヨンソン,スタフアン
出願人/特許権者： セカツプ・アー・ベー
代理人 (1件)： 川口 義雄 (外3名)
公報種別：公表公報
出願番号（国際出願番号）：特願平7-526914
公開番号（公開出願番号）：特表平10-501887
出願日： 1995年04月18日
公開日（公表日）： 1998年02月17日
要約：

【要約】圧力センサ用の容量性センサ要素(1’)は、ガラスセラミック材料など電気絶縁材料をベースとするハウス部分(3’)を含み、ハウス部分(3’)は、内面上に、一方のコンデンサプレート(9)を有する。対向するコンデンサプレート(11)は、電気絶縁材料のダイヤフラム(7)の一方の面に取り付けられる。ダイヤフラム(7)は、その他方の面上に、接地に接続されるようになされた導電性遮蔽層(21)を有する。コンデンサプレート(9、11)は、プレート間の距離が変化した場合にその静電容量が変化する電気的コンデンサを形成する。第二の導電遮断層(17)は、遮蔽プレート(15)と厚い支持プレート(13)の間の、一方のコンデンサプレートからある距離のところでハウス部分(3’)内の材料によって囲まれ、かつ横方向においてこのプレートよりもかなり広い延長部を有する。また、この層(17)は、接地に接続されるようになされている。この内部接地面(17)をコンデンサプレート(9、11)の近くに配置することによって、それらに浮遊容量の影響を小さくするために均一な電気的環境を確実にする。さらに、厚い支持プレート(13)はハウス部分に十分な機械安定度を与える。

請求項（抜粋）：

第一の面上に、平坦面を有する第一のコンデンサ電極を含む実質上電気絶縁性の材料のハウス部分と、 第一の面上に、平坦面を有する第二のコンデンサ電極を含む実質上電気絶縁性の材料のダイヤフラムと、 互いに対向して配置され、かつ互いに小さい距離をおいて配置されたそれらの平坦面を有し、電極間の距離が変化した場合にその静電容量が変化する電気的コンデンサとを含む圧力センサ用のセンサ要素において、 ハウス部分によって包囲されるように配置され、特にその両側でハウス部分内の対向する内面に配置され、 第一のコンデンサ電極の平坦面に平行であり、 その内部領域に実質上対向して配置された第一の電極よりもかなり広い延長部を有し、 電気的接地に接続されるようになされた導電層を特徴とするセンサ要素。

引用特許：

審査官引用 (3件)

• 特開昭57-206842
  
• 特開昭63-285437
  
• 特開昭59-163514