特許

J-GLOBAL ID：200903003819399462

電流の計測方法および表面形状の測定装置

発明者： 坂口 浩司 ,  岩田 太 ,  佐々木 彰
出願人/特許権者： 静岡大学長
代理人 (1件)： 間山 進也 (外1名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2001-064937
公開番号（公開出願番号）：特開2002-267588
出願日： 2001年03月08日
公開日（公表日）： 2002年09月18日
要約：

【要約】【課題】 基板に電圧を印加し、基板上に配置した試料に導電性の探針を振動させながら一定の力かつ所定周期で接触させることにより、機械的強度の弱い試料または不均一な硬さを有する試料を通して流れる電流を計測することができる電流の計測方法、表面の測定装置および顕微鏡装置を提供する。【解決手段】 試料2を配置した導電性の基板1に電圧を印加させる段階と、導電性の探針3を一定の力かつ所定周期で試料2に接触するように振動させる段階と、探針3と試料2とが接触して探針3と基板1との間に流れた電流を計測する段階とを含む電流の計測方法、表面の測定装置および顕微鏡装置を用いる。

請求項（抜粋）：

試料を配置した導電性の基板に電圧を印加する段階と、導電性の探針を一定の力かつ所定周期で前記試料に接触するように振動させる段階と、前記探針と前記試料とが接触して前記探針と前記基板との間に流れた電流を計測する段階とを含む、電流の計測方法。

IPC (2件)：

G01N 13/12 ,  G01B 7/34

FI (2件)：

G01N 13/12 A ,  G01B 7/34 Z

Fターム (7件)：

2F063AA43 ,  2F063BB02 ,  2F063DA02 ,  2F063DA05 ,  2F063EB15 ,  2F063EB23 ,  2F063FA10

引用特許：

審査官引用 (1件)

• 微細加工装置および微細加工方法
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平9-086432   出願人：株式会社ニコン