特許
J-GLOBAL ID：200903003820395888
ウェハー識別文字認識装置
発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
京本 直樹 (外2名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平4-026323
公開番号（公開出願番号）：特開平5-225400
出願日： 1992年02月13日
公開日（公表日）： 1993年09月03日
要約：
【要約】【目的】ウェハー上にレーザーマーカーで刻印されているウェハー識別文字を認識する。【構成】ウェハー上の識別文字を取り込む画像入力部1と、取り込んだ入力データ21の前処理を行う画像処理部2と、前処理により切り出された文字データ24を認識する文字認識部3で構成され、特に、文字認識部3では、ニューラルネットワークにより文字認識を行う。
請求項（抜粋）：
ウェハー上の文字パターンを取り込む画像入力部と、前記画像入力部から出力される入力データの前処理を行う画像処理部と、前記画像処理部により切り出された文字データをニューラルネットワークを用いて認識する文字認識部とを含むことを特徴とするウェハー識別文字認識装置。
IPC (3件)：
G06K 9/66
, G06F 15/62 405
, H01L 21/68
