特許

J-GLOBAL ID：200903003820718687

気相成長装置の有機金属化合物ガス供給装置

発明者： 石川 吉浩
出願人/特許権者： 富士電機株式会社
代理人 (1件)： 山口 巖
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平5-303154
公開番号（公開出願番号）：特開平7-161638
出願日： 1993年12月03日
公開日（公表日）： 1995年06月23日
要約：

【要約】【目的】気相成長装置における従来の有機金属化合物ガス供給装置では液体有機金属化合物の不足によりミス成長を生じるという難点があった。この難点を解消し、ミス成長を防止する。【構成】液体有機金属化合物5をいれた金属製容器6に流すキャリアガスの流量をマスフローコントローラー1で測定し、その流量測定信号と、開閉制御弁2〜4への制御信号と同一の信号とを入力とする積算装置14を設け、キャリアガスが金属製容器6を流れる時間についてのみキャリアガスの流量を積算して、キャリアガスのバブリングによって、金属製容器6の外部へ取り出された液体有機金属化合物5の使用量を積算する積算装置を設けることにより、金属製容器6内部の液体有機金属化合物5の残存量を正確に把握する。

請求項（抜粋）：

液体有機金属化合物を封入した金属製容器にキャリアガスを送り、当該有機金属化合物を飽和蒸気としてキャリアガスとともに金属製容器外に取り出して有機金属化合物ガスを供給する装置において、キャリアガスの流量測定信号と、キャリアガスが金属製容器中を流れていることを判断する信号との二つの信号を入力として金属製容器中のキャリアガスの積算流量を算出して、液体有機金属化合物の消費量を積算する積算装置を備えたことを特徴とする気相成長装置の有機金属化合物ガス供給装置。