特許
J-GLOBAL ID：200903003828005531
リアルタイム形状変形計測方法
発明者：
,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
杉村 暁秀 (外2名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平11-179950
公開番号（公開出願番号）：特開2001-004338
出願日： 1999年06月25日
公開日（公表日）： 2001年01月12日
要約：
【要約】【課題】 試料の形状や変形量の数値的情報をリアルタイムで得ることが可能で、かつ計測可能領域と計測不可能領域とを区別できる試料の位相分布画像をリアルタイムで得ることができるリアルタイム形状変形計測方法を提供する。【解決手段】 試料に投影する格子パターンまたは試料の変形を表す干渉縞の位相を連続的にシフトしながら、1周期の位相シフト毎に4つの格子画像または干渉縞画像を順次取得してそれぞれ対応する第1〜第4フレームメモリ24A〜24Dに更新しながら格納し、これら第1〜第4フレームメモリに格納された各画像の対応する画素の輝度差に基づいて、予め演算して求めた位相値に対応する輝度値を格納する位相算出マップ26から対応する位相値の輝度値を画素毎に読み出して、試料の位相分布画像をリアルタイムで得るようにする。
請求項（抜粋）：
試料に投影する格子パターンまたは試料の変形を表す干渉縞の位相を連続的にシフトしながら、1周期の位相シフト毎に4つの格子画像または干渉縞画像を順次取得してそれぞれ対応する第1〜第4フレームメモリに更新しながら格納し、これら第1〜第4フレームメモリに格納された各画像の対応する画素の輝度差に基づいて、予め演算して求めた位相値に対応する輝度値を格納する位相算出マップから対応する位相値の輝度値を画素毎に読み出して、前記試料の位相分布画像をリアルタイムで得ることを特徴とするリアルタイム形状変形計測方法。
Fターム (25件)：
2F065AA02
, 2F065AA03
, 2F065AA65
, 2F065CC16
, 2F065DD03
, 2F065DD06
, 2F065FF04
, 2F065FF51
, 2F065GG05
, 2F065HH03
, 2F065HH06
, 2F065JJ03
, 2F065JJ16
, 2F065JJ26
, 2F065LL12
, 2F065LL30
, 2F065LL37
, 2F065LL46
, 2F065QQ03
, 2F065QQ08
, 2F065QQ14
, 2F065QQ24
, 2F065QQ32
, 2F065SS02
, 2F065SS13
