特許

J-GLOBAL ID：200903003829455700

純水比抵抗調整装置及びウエハ洗浄装置

発明者： 鈴木 啓太
出願人/特許権者： ソニー株式会社
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平10-166434
公開番号（公開出願番号）：特開2000-000446
出願日： 1998年06月15日
公開日（公表日）： 2000年01月07日
要約：

【要約】【課題】 CO2 濃度ムラの発生及び気泡の蓄積を防止した純水比抵抗調整装置、並びにそのような純水比抵抗調整装置を備えたウエハ洗浄装置を提供する。【解決手段】 本純水比抵抗調整装置10は、ガス透過膜からなる多数本の中空糸膜の束を有し、CO2 ガスを中空糸膜の内側から外側に透過させるCO2 ガス給気モジュール14を内蔵する密閉容器12を備え、純水を一時的に容器内に滞留させ、モジュールから容器内の純水にCO2 を溶解させて、純水の比抵抗を調整する。容器は、開閉弁付きガス抜き管46を最高部に有し、水平面に対して傾斜した上蓋板16を備えた縦型容器である。純水の入口は、上蓋板を貫通し、下端にノズル口を有する純水入口ノズル18と、U字状に懸架された多数本の中空糸膜の束のU字中央を通ってU字底部まで上蓋板から下方に垂下し、純水入口ノズルの下部を内側に収容する有底上部開口の筒体28とを備えている。

請求項（抜粋）：

ガス透過膜からなる多数本の中空糸膜の束を有し、中空糸膜の内側中空部を通過するCO2 ガスを中空糸膜の外側に透過させるガス給気モジュールと、ガス給気モジュールを内蔵し、かつ純水がガス給気モジュールの外側を流れる密閉容器とを備え、ガス給気モジュールにCO2 ガスを導入して、容器内を流れる純水にCO2 ガスを溶解させ、純水の比抵抗を調整する装置であって、容器は、開閉弁付きガス抜き管を最高部に有し、水平面に対して傾斜した上蓋板を容器上部に備えた縦型容器として構成され、CO2 ガスを導入するCO2 ガス入口及び余剰のCO2 ガスを排出するCO2ガス出口は、それぞれ、上蓋板に離隔して設けられ、ガス給気モジュールの中空糸膜は、一端がCO2 ガス入口に、他端がCO2 ガス出口に連結されて容器内にU字状に懸架され、純水の入口は上蓋板に、純水の出口は容器の底部にそれぞれ設けられていることを特徴とする純水比抵抗調整装置。

IPC (6件)：

B01F 1/00 ,  B01D 63/02 ,  B01F 15/04 ,  B08B 3/00 ,  H01L 21/304 648 ,  C11D 17/08

FI (6件)：

B01F 1/00 B ,  B01D 63/02 ,  B01F 15/04 A ,  B08B 3/00 ,  H01L 21/304 648 G ,  C11D 17/08

Fターム (31件)：

3B201AA03 ,  3B201AB34 ,  3B201AB42 ,  3B201BB44 ,  3B201BB52 ,  3B201BB90 ,  3B201BB93 ,  3B201BB99 ,  3B201CB01 ,  4D006GA01 ,  4D006GA50 ,  4D006HA02 ,  4D006HA03 ,  4D006JA65Z ,  4D006MA01 ,  4D006MA02 ,  4D006PB20 ,  4D006PC01 ,  4G035AA01 ,  4G035AE01 ,  4G035AE13 ,  4G035AE17 ,  4G037BA03 ,  4G037BB23 ,  4G037BB30 ,  4G037EA01 ,  4H003BA12 ,  4H003CA24 ,  4H003DA15 ,  4H003EA31 ,  4H003ED02