特許
J-GLOBAL ID：200903003829770347
微分型電気移動度測定器
発明者：
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出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
佐藤 一雄 (外3名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平10-067421
公開番号（公開出願番号）：特開平11-264790
出願日： 1998年03月17日
公開日（公表日）： 1999年09月28日
要約：
【要約】【課題】 微粒子の粒径を低圧条件下で精度良く測定することができる微分型電気移動度測定器を提供する。【解決手段】 一方のスリット4から引き込まれ帯電粒子は、囲み体2の吐出口7から供給されるシースガスとともに中心軸方向下方に移動し、囲み体2の内周面と中心ロッド3の外周面との間で可変電圧源10により印加される電圧Vにより形成される電場の影響を受けて個々の微粒子が電気移動度に応じた速度で囲み体2側から中心ロッド3側へ引き寄せられる。そして、所定の軌跡を描いて距離Lだけ進み、中心ロッド3の他方のスリット5に到達した所定粒径の微粒子のみが外部に取り出される。囲み体2の引込口7から供給されるシースガスは中心ロッド3の他方のスリット5を通過して囲み体2の吐出口9から排出されるが、他方のスリット5の下流側にはオリフィス部材11が設けられているので、シースガスの流れが妨げられてオリフィス部材11の前後で圧力差が生じる。
請求項（抜粋）：
帯電した微粒子を内部に引き込むための一方のスリットを有する囲み体と、前記囲み体の内部に延びるとともに前記帯電した微粒子を外部に取り出すための他方のスリットを有するロッドとを備え、前記囲み体と前記ロッドとの間には前記帯電した微粒子を前記囲み体側から前記ロッド側へ移動させるよう所定電圧が印加され、前記囲み体内には前記帯電した微粒子を前記ロッドが延びる方向に沿って移動させるようシースガスが供給され、前記帯電した微粒子が取り出される前記他方のスリットの下流側には前記シースガスに流体抵抗を与えるための流体抵抗手段が設けられていることを特徴とする微分型電気移動度測定器。
IPC (2件)：
FI (2件)：
G01N 15/02 D
, G01N 27/60 A
