特許
J-GLOBAL ID：200903003837542566
静電容量型圧力センサ
発明者：
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出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
廣澤 勲
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平8-056872
公開番号（公開出願番号）：特開平9-229796
出願日： 1996年02月20日
公開日（公表日）： 1997年09月05日
要約：
【要約】【課題】 簡単な構成で、温度変化による影響がなく、測定精度が高い静電容量型圧力センサを提供する。【解決手段】 流体の圧力が印加されるダイヤフラム24と、ダイヤフラム24の裏面に平面的に形成された第一電極22と、ダイヤフラム24と一定間隔を隔てて対面して設けられた絶縁体のベース基板28と、ベース基板28の表面に形成され、第一電極22と対面して同様に設けられた第二電極26とを有する。ダイヤフラム24の周縁部の厚さを中央部の厚さよりも厚く形成する。
請求項（抜粋）：
流体の圧力が印加されるダイヤフラムと、このダイヤフラムの裏面に平面的に形成された第一電極と、上記ダイヤフラムと一定間隔を隔てて対面して設けられた絶縁体のベース基板と、このベース基板の表面に形成され、上記第一電極と対面して同様に設けられた第二電極とを有し、上記ダイヤフラムの周縁部の厚さを中央部の厚さよりも厚く形成した静電容量型圧力センサ。
IPC (2件)：
FI (2件)：
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