特許

J-GLOBAL ID：200903003842172254

トンネル電流微細加工法

発明者： 升田 博之 ,  長島 伸夫 ,  松岡 三郎
出願人/特許権者： 科学技術庁金属材料技術研究所長
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平4-293952
公開番号（公開出願番号）：特開平6-220684
出願日： 1992年10月08日
公開日（公表日）： 1994年08月09日
要約：

【要約】【構成】 溶液中において基体表面に微細探針を対向させ、溶液中のイオン化物質をトンネル電流によって微細探針下のみに電解析出させる。または、溶液中において基体表面に微細探針を対向させ、トンネル電流によって微細探針下の基体表面をアノード溶解させる。【効果】 溶液中でトンネル状態にある非常に限定されたナノメータオーダーの微細領域の加工が被加工物基体にひずみを与えることなく高速かつ速度をコントロールしながら可能となる。また、真空中やガス環境中に較べ、水溶液中等で材料をイオン化することは極めて容易であり、低コストで種々の材料の加工が実現できると期待される。

請求項（抜粋）：

溶液中において基体表面に微細探針を対向させ、溶液中のイオン化物質をトンネル電流によって微細探針下のみに電解析出させることを特徴とするトンネル電流微細加工法。

IPC (3件)：

C25D 5/02 ,  C25D 17/12 ,  C25F 3/14