特許

J-GLOBAL ID：200903003844057070

プローブ走査装置

発明者： 梶浦 克弘
出願人/特許権者： セイコーインスツルメンツ株式会社
代理人 (1件)： 坂上 正明
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2001-206051
公開番号（公開出願番号）：特開2003-021588
出願日： 2001年07月06日
公開日（公表日）： 2003年01月24日
要約：

【要約】【課題】 ボイスコイルモータの発熱量そのものを低減させることにより温度ドリフトを防止したプローブ走査装置を提供する。【解決手段】 自由端にプローブが装着されたZ軸スピンドル6Zと、Z軸スピンドル6Zを微動させるボイスコイルモータ3Zと、Z軸スピンドル6Zを同軸状に収容し、その自由端でZ軸スピンドル6Zの自由端を弾性的に支持するZ軸弾性筒8と、前記Z軸弾性筒8に連結されたX軸、Y軸スピンドル6X,6Yと、X、Y軸スピンドルを駆動するボイスコイルモータ3X,3Yとを具備し、Z軸弾性筒8を、筐体1に固定される支持部81と、支持部81からZ方向へ垂直に延設された弾性筒状部82と、弾性筒状部82からさらにZ方向へ延設された非弾性筒状部83,84とで構成した。

請求項（抜粋）：

試料表面に近接させたプローブをX,Y方向へ走査させながらZ方向へ微動させるプローブ走査装置において、自由端にプローブが装着されたZ軸スピンドルと、前記Z軸スピンドルの他端に連結されたZ軸ボイスコイルモータと、前記Z軸スピンドルを同軸状に収容し、その自由端で前記Z軸スピンドルの自由端を弾性的に支持するZ軸弾性筒と、前記Z軸弾性筒に一端が連結されたX軸スピンドルおよびY軸スピンドルと、前記X軸スピンドルおよびY軸スピンドルのそれぞれの他端に連結されたX軸ボイスコイルモータおよびY軸ボイスコイルモータと、前記X,Y,Z軸の各ボイスコイルモータおよび前記Z軸弾性筒の他端を支持する筐体とを具備し、前記Z軸弾性筒は、前記支持筐体に固定される支持部と、前記支持部からZ方向へ垂直に延設された弾性筒状部と、前記弾性筒状部からさらにZ方向へ延設された非弾性筒状部とを含むことを特徴とするプローブ走査装置。

IPC (4件)：

G01N 13/10 ,  G01B 21/00 ,  G01B 21/30 ,  G12B 21/20

FI (4件)：

G01N 13/10 C ,  G01B 21/00 P ,  G01B 21/30 Z ,  G12B 1/00 601 G

Fターム (11件)：

2F069AA60 ,  2F069DD04 ,  2F069DD30 ,  2F069EE02 ,  2F069EE26 ,  2F069GG04 ,  2F069GG62 ,  2F069HH05 ,  2F069JJ08 ,  2F069LL03 ,  2F069LL06