金属酸化物膜、その酸化物膜を用いた太陽電池と光触媒薄膜及び金属酸化物膜の製造方法

発明者：
出願人/特許権者：
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2005-011238
公開番号（公開出願番号）：特開2006-199986
出願日： 2005年01月19日
公開日（公表日）： 2006年08月03日
要約：

【課題】本発明は、表面にネットワーク状の溝が形成された金属酸化物膜に微細孔を付与することにより、微粒子間の界面抵抗が低く、かつ高表面積を達成することが可能な金属酸化物膜、および、生産性に優れる、その製造方法を提供することを課題とする。【解決手段】表面にネットワーク状の溝が形成された金属酸化物膜であって、空孔径のピークが10Åから100Åの間にあることを特徴とする、空孔径のピークを最適化した金属酸化物膜、その酸化物膜を用いた太陽電池と光触媒薄膜及び金属酸化物膜の製造方法である。【選択図】図1

請求項（抜粋）：

表面にネットワーク状の溝が形成された金属酸化物膜であって、空孔径のピークが10Åから100Åの間にあることを特徴とする金属酸化物膜。

IPC (9件)：

C23C 14/08 , B01J 35/02 , B01J 35/10 , B01J 37/02 , B01J 37/08 , C03C 17/245 , H01M 14/00 , H01L 31/04 , B01D 53/86

FI (10件)：

C23C14/08 E , B01J35/02 J , B01J35/10 301F , B01J37/02 301P , B01J37/08 , C03C17/245 A , C03C17/245 Z , H01M14/00 P , H01L31/04 Z , B01D53/36 J

Fターム (78件)：

4D048AA02 , 4D048AA06 , 4D048AA08 , 4D048AA19 , 4D048AA22 , 4D048AB03 , 4D048BA06X , 4D048BA07X , 4D048BA41X , 4D048BB03 , 4D048BB17 , 4D048EA01 , 4G059AA01 , 4G059AA08 , 4G059AC22 , 4G059EA01 , 4G059EA04 , 4G059EB02 , 4G059EB03 , 4G059EB04 , 4G169AA03 , 4G169AA08 , 4G169AA11 , 4G169BA02B , 4G169BA04B , 4G169BA14B , 4G169BA48A , 4G169CA02 , 4G169CA03 , 4G169CA10 , 4G169CA11 , 4G169CA12 , 4G169CA13 , 4G169CA17 , 4G169DA06 , 4G169EA08 , 4G169EB15Y , 4G169EC13X , 4G169EC14X , 4G169EC14Y , 4G169EC27 , 4G169ED02 , 4G169EE06 , 4G169FA03 , 4G169FB02 , 4G169FB29 , 4G169HA03 , 4G169HA12 , 4G169HB02 , 4G169HC07 , 4G169HC08 , 4G169HC15 , 4G169HD05 , 4G169HD13 , 4G169HE01 , 4G169HE06 , 4G169HE07 , 4G169HE09 , 4K029AA09 , 4K029BA48 , 4K029CA01 , 4K029GA01 , 5F051AA14 , 5F051CB15 , 5F051FA04 , 5F051FA06 , 5F051FA21 , 5F051GA03 , 5H032AA06 , 5H032AS09 , 5H032AS10 , 5H032AS16 , 5H032BB02 , 5H032BB05 , 5H032BB10 , 5H032CC13 , 5H032EE02 , 5H032HH04

引用特許：

出願人引用 (5件)

特開昭63-5304号公報
特許第3141721号明細書
特開昭52-88600号公報

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