特許

J-GLOBAL ID：200903003845643851

レーザ顕微鏡の照明光学系の調整方法

発明者： 鶴旨 篤司 ,  竹中 秀和
出願人/特許権者： 株式会社ニコン
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2000-206715
公開番号（公開出願番号）：特開2002-023062
出願日： 2000年07月07日
公開日（公表日）： 2002年01月23日
要約：

【要約】【課題】 DUVレーザ顕微鏡において発生する照野内の輝度ムラを簡便に取り除き、高精度の画像観察や画像計測を行うことが可能ななDUVレーザ顕微鏡の照明光学系の調整方法を提供することを目的とする。【解決手段】 パーソナル・コンピュータ18の画像処理ボード20において、CCDカメラ17からのアナログ画像信号をデジタル信号に変換し、このデジタル画像信号に対して疑似カラー化する処理を行う。即ち、色情報を有していないデジタル画像信号について画像の全ピクセルの輝度値を数値化し、パーソナル・コンピュータ18のカラー表示機構が有しているLUTにおいて画像のピクセル毎の輝度値にRプレーン、Gプレーン、及びBプレーンをそれぞれ割り当てる。こうして疑似カラー化された画像をモニタ21上に表示する。このため、照野内の輝度ムラを視覚的に認識して容易かつ精確に判別することが可能になる。

請求項（抜粋）：

レーザ光を用いて試料をケーラー照明し、前記試料を撮像装置によって撮像し、前記撮像装置によって撮像された画像をモニタ上に表示するレーザ顕微鏡の照明光学系の調整方法であって、前記撮像装置によって撮像された画像の輝度階調に対応して所定の色を割り付けて、疑似カラー化し、前記疑似カラー化された画像を前記モニタ上に表示し、前記モニタ上に疑似カラー表示された画像を観察して、照野内の輝度ムラを判別し、前記照野内の輝度ムラの判別に基づいて、照明光学系の調整を行うことを特徴とするレーザ顕微鏡の照明光学系の調整方法。

Fターム (7件)：

2H052AC02 ,  2H052AC12 ,  2H052AC26 ,  2H052AC28 ,  2H052AC34 ,  2H052AF14 ,  2H052AF25