ステージの縦横移動旋回支持機構

発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：三觜晃司
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平7-313920
公開番号（公開出願番号）：特開平9-155666
出願日： 1995年12月01日
公開日（公表日）： 1997年06月17日
要約：

【要約】【課題】ステージの縦横移動旋回支持機構において、ステージの中央に窓部を形成して、有用な貫通空間と軽量化を図る。【解決手段】内側支持板5と、この内側支持板を挟む外側支持板6とを備え、内側支持板と外側支持板間に保持部材7に保持したボール8を介装して、内側支持板と外側支持板を平面上で相対的に自由運動可能として、夫々内側支持板側と外側支持板側を取付部とした支持ユニット3を構成し、この支持ユニットを支持台1とステージ2間に複数取付けて構成する。

請求項（抜粋）：

内側支持板と、この内側支持板を挟んで一体に結合した2つの外側支持板とを備え、内側支持板と夫々の外側支持板間に保持部材に保持したボールを介装して、内側支持板と外側支持板を平面上で相対的に自由運動可能として、夫々内側支持板側と外側支持板側を取付部とした支持ユニットを構成し、この支持ユニットを支持台とステージ間に複数取付けて構成したことを特徴とするステージの縦横移動旋回支持機構

IPC (3件)：

B23Q 1/44 , B23Q 5/34 , G12B 5/00

FI (3件)：

B23Q 1/18 A , B23Q 5/34 Z , G12B 5/00 T

引用特許：

審査官引用 (5件)

特公平5-012678
特開平1-240246
特開平2-009550

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