特許
J-GLOBAL ID：200903003849540798
大口径炭化珪素単結晶インゴツトの作製方法および種結晶用炭化珪素単結晶
発明者：
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出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
八田 幹雄 (外2名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平3-036150
公開番号（公開出願番号）：特開平5-032496
出願日： 1991年03月01日
公開日（公表日）： 1993年02月09日
要約：
【要約】【目的】 大口径炭化珪素単結晶インゴット、特に6H形および4H形の大口径炭化珪素単結晶インゴットを作製する。【構成】 渦巻成長のスパイラルステップを有する(0001)成長ファセ【外1】堝蓋の中心に種結晶として配置し、前記炭化珪素単結晶の口径の1〜3倍の大きさの開口部を有する黒鉛製仕切板を前記炭化珪素単結晶の側面に位置するように取付けた黒鉛製坩堝を用い、昇華法により成長を行なう。
請求項（抜粋）：
渦巻成長のスパイラルステップを有する(0001)成長【外1】鉛製坩堝蓋の中心に種結晶として配置し、前記炭化珪素単結晶の口径の1〜3倍の大きさの開口部を有する黒鉛製仕切板を前記炭化珪素単結晶の側面に位置するように取付けた黒鉛製坩堝に炭化珪素原料粉末を挿入し、不活性気体雰囲気中にて炭化珪素原料を加熱昇華させ、前記炭化珪素単結晶を炭化珪素原料より低温にして炭化珪素単結晶を成長させることを特徴とする大口径炭化珪素単結晶インゴットの作製方法。
IPC (3件)：
C30B 29/36
, C30B 23/00
, H01L 21/203
