特許

J-GLOBAL ID：200903003856379951

ワーク反転機及びポリッシング装置

発明者： 戸川 哲二 ,  山口 都章
出願人/特許権者： 株式会社荏原製作所
代理人 (1件)： 熊谷 隆 (外1名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平9-293436
公開番号（公開出願番号）：特開平10-173026
出願日： 1997年10月08日
公開日（公表日）： 1998年06月26日
要約：

【要約】【課題】 防水カバー付きのワーク反転機に真空吸着機構付きのドライ用ハンドを挿入してもハンド上に液体が付着せず、これによってドライとウエットの両者のハンドに兼用できるワーク反転機を提供する。【解決手段】 ワーク反転機構11の周囲を液体飛散防止用の防水カバー21で囲む。防水カバー21にはその上面から前面にわたる部分を開放する開口23を設ける。開口23には開口23を塞ぐスクリーン25を取り付ける。スクリーン25にはスクリーン25を矢印B方向に回転して開口23を開放する回転駆動機構29を設ける。

請求項（抜粋）：

ワークを保持する構造のロボットのハンドとの間でワークの受渡しを行なうと共に受け取った前記ワークを反転するワーク反転機構を有するワーク反転機において、前記ワーク反転機構の周囲を液体飛散防止用の防水カバーで囲い、且つ該防水カバーには、該防水カバー内に前記ハンドを挿入した際の、前記ハンドの少なくとも前記ワークに覆われていない部分の真上の領域を開放する上部開放機構を設け、該防水カバー内面に付着した水滴が前記ロボットのハンド上に落下しないようにしたことを特徴とするワーク反転機。

IPC (5件)：

H01L 21/68 ,  B23Q 7/00 ,  B24B 37/00 ,  H01L 21/304 321 ,  H01L 21/304 341

FI (5件)：

H01L 21/68 A ,  B23Q 7/00 D ,  B24B 37/00 Z ,  H01L 21/304 321 A ,  H01L 21/304 341 C