圧電素子微動機構

発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：鈴江武彦 (外4名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平9-257283
公開番号（公開出願番号）：特開平11-094865
出願日： 1997年09月22日
公開日（公表日）： 1999年04月09日
要約：

【要約】【課題】破損し難く強固な取り付けが可能な圧電素子微動機構を提供する。【解決手段】圧電素子微動機構60は、金属製の角柱62と、その外周の各平面に設けられた四枚の圧電素子64aと64bと64cと64dとを備えている。金属製の角柱62は四枚の圧電素子64aと64bと64cと64dに対して共通電極として作用し、圧電素子64aと64bと64cと64dはそれぞれ角柱62の外周平面に平行な面に駆動電極66aと66bと66cと66dを備えている。

請求項（抜粋）：

走査型プローブ顕微鏡に用いられる圧電作用を利用した圧電素子微動機構であり、セラミックに比べて高い破壊強度を持つ本体部と、本体部に設けられた複数の圧電素子とを有している圧電素子微動機構。

IPC (3件)：

G01N 37/00 , G01B 21/30 , G05D 3/00

FI (3件)：

G01N 37/00 G , G01B 21/30 Z , G05D 3/00 G

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