アルカリ現像型感光性ペースト組成物

発明者： ,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：角田嘉宏 (外3名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平11-106682
公開番号（公開出願番号）：特開2000-298336
出願日： 1999年04月14日
公開日（公表日）： 2000年10月24日
要約：

【要約】【課題】光重合性を有し、リソグラフィーに用いた場合に解像度の高い膜が得られるアルカリ現像型感光性ペースト組成物を提供する。【解決手段】 (A)無機粉末と、(B)化1で表されるセルロース誘導体に(メタ)クリロイルオキシエチルイソシアネートを付加反応させて得られるセルロース系カルボン酸変性感光性バインダー樹脂と、(C)光反応性モノマーと、(D)光重合開始剤とを含有するアルカリ現像型感光性ペースト組成物である。ここで、R1は、水素、炭素数1〜4のアルキル基、炭素数1〜4のヒドロキシアルキル基、炭素数1〜8のアシル基及び-COR3COOH基からなる群から選択される置換基であって、少なくとも、前記水素及び/又は前記ヒドロキシアルキル基と、前記-COR3COOH基とを含み、上記R3は、炭素数1〜4のアルキレン基、炭素数6〜8のシクロアルキレン基、フェニレン基及び置換フェニレン基からなる群から選択される置換基である。【化1】

請求項（抜粋）：

(A)無機粉末と、(B)化1で表されるセルロース誘導体に(メタ)クリロイルオキシエチルイソシアネートを付加反応させて得られるセルロース系カルボン酸変性感光性バインダー樹脂と、【化1】(ここで、R1は、水素、炭素数1〜4のアルキル基、炭素数1〜4のヒドロキシアルキル基、炭素数1〜8のアシル基及び-COR3COOH基からなる群から選択される置換基であって、少なくとも、前記水素及び/又は前記ヒドロキシアルキル基と、前記-COR3COOH基とを含み、上記R3は、炭素数1〜4のアルキレン基、炭素数6〜8のシクロアルキレン基、フェニレン基及び置換フェニレン基からなる群から選択される置換基である。)(C)光反応性モノマーと、(D)光重合開始剤とを含有していることを特徴とするアルカリ現像型感光性ペースト組成物。

IPC (6件)：

G03F 7/027 513 , G03F 7/027 502 , C08F290/10 , C08K 3/08 , C08L 55/00 , G03F 7/004 501

FI (6件)：

G03F 7/027 513 , G03F 7/027 502 , C08F290/10 , C08K 3/08 , C08L 55/00 , G03F 7/004 501

Fターム (50件)：

2H025AA02 , 2H025AA04 , 2H025AB15 , 2H025AB16 , 2H025AB17 , 2H025AD01 , 2H025BC12 , 2H025BC14 , 2H025BC31 , 2H025BC34 , 2H025BC43 , 2H025BC51 , 2H025BC85 , 2H025BC86 , 2H025CA00 , 2H025CC08 , 2H025CC09 , 2H025FA17 , 4J002AB011 , 4J002DA066 , 4J002DE046 , 4J002DJ016 , 4J002DK006 , 4J002ED088 , 4J002EE038 , 4J002EH009 , 4J002EL039 , 4J002ER007 , 4J002EV308 , 4J002FA086 , 4J002FD208 , 4J002GP03 , 4J027AC01 , 4J027AC03 , 4J027AC06 , 4J027AH03 , 4J027AJ05 , 4J027AJ08 , 4J027BA02 , 4J027BA07 , 4J027BA19 , 4J027BA26 , 4J027BA28 , 4J027CA11 , 4J027CA12 , 4J027CA14 , 4J027CA19 , 4J027CA33 , 4J027CB10 , 4J027CD10

引用特許：

出願人引用 (1件)

変性セルロース化合物およびこれを含有する光重合性樹脂組成物
公報種別：公開公報出願番号：特願平9-218038 出願人：東京応化工業株式会社

審査官引用 (1件)

変性セルロース化合物およびこれを含有する光重合性樹脂組成物
公報種別：公開公報出願番号：特願平9-218038 出願人：東京応化工業株式会社

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