特許
J-GLOBAL ID：200903003859682981
カーボン膜成膜用スパツタカソード及びカーボン膜成膜方法
発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
金丸 章一
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平3-231770
公開番号（公開出願番号）：特開平5-070938
出願日： 1991年09月11日
公開日（公表日）： 1993年03月23日
要約：
【要約】【構成】 カソードシールドがグラファイト等のカーボン材より成ると共に、カソードシールド面の高さがターゲット材表面と同一かあるいは低く設定されたことを特徴とするカーボン膜成膜用スパッタカソード、及び、このスパッタカソードを用いて成膜することを特徴とするカーボン膜の製膜方法。【効果】 長時間のスパッタリングを実施してもアーキング発生が少なく、高品質のカーボンスパッタ膜を生成できる。
請求項（抜粋）：
カソードシ-ルドがグラファイト等のカーボン材より成ると共に、カソードシールド面の高さがターゲット材表面と同一かあるいは低く設定されたことを特徴とするカ-ボン膜成膜用スパッタカソード。
IPC (2件)：
前のページに戻る
