特許
J-GLOBAL ID:200903003859963220
レーザ顕微切断のための方法及び装置
発明者:
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出願人/特許権者:
代理人 (1件):
加藤 朝道 (外2名)
公報種別:公開公報
出願番号(国際出願番号):特願2001-266008
公開番号(公開出願番号):特開2002-174778
出願日: 2001年09月03日
公開日(公表日): 2002年06月21日
要約:
【要約】【課題】信頼性があり、便利な様式で、試料から試料視野(部分)を切り取るレーザ顕微切断の方法を提供する。【解決手段】試料(4)の関心領域(23)のレーザ顕微切断のための方法と装置において、第一ステップで、関心がある試料領域(23)を取り囲む閉でない切断線(25)がレーザ光線(7)によって生成される。切断線(25)の閉でない所には、関心がある試料領域(23)を周囲の試料(4)に結合するウェブ(26)が残る。第二ステップで、ウェブ(26)がそこに向けられた単一レーザパルスを用いて切断され、それによって切断線が完結する。かくて、関心がある試料領域(23)が試料(4)から分離され、重力の作用によって収集容器(19)中に落ちる。
請求項(抜粋):
試料保持器に保持された試料の関心がある試料領域のレーザ顕微切断方法であって、次のステップa)所定の幅の安定ウェブ(26)が切断線(25)の始端と終端の間に残り、それを介して関心がある試料領域(23)が回りの試料(4)と結合するように、所定の切断幅を有する合焦レーザ光線によって、関心がある試料領域(23)をほぼ取り囲む部分的に閉じてない切断線(25)に沿って切断すること、及びb)切断分離後に関心がある試料領域(23)が重力の作用によって落下するように、ウェブ(26)上に向けられた、前の切断線と比較して拡大された切断幅を有する合焦レーザ光線(7)の単一レーザパルスを用いてウェブ(26)を切断分離すること、を有することを特徴とするレーザ顕微切断方法。
IPC (4件):
G02B 21/32
, B23K 26/00 320
, B23K 26/02
, G01N 1/28
FI (5件):
G02B 21/32
, B23K 26/00 320 E
, B23K 26/02 C
, G01N 1/28 F
, G01N 1/28 J
Fターム (15件):
2G052AA28
, 2G052AD32
, 2G052BA02
, 2G052EC17
, 2G052GA31
, 2G052JA07
, 2H052AC04
, 2H052AC05
, 2H052AC15
, 2H052AC34
, 2H052AD16
, 2H052AF01
, 4E068AE00
, 4E068CA17
, 4E068CB02
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